中国科学院微电子研究所

中国科学院微电子研究所射频电源(rfgenerator)课题组(.)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56mhz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“fd-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300w-3000w晶体管射频电源(13.56mhz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间（可以进行esd，emc等测试），年生产能力达3000台套。产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服

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单位地址：	朝阳区北京市朝阳区北土城西路三号
经营范围：	电子管射频电源，匀胶机，固态射频电源，射频电源，自动匹配器
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